水封式真空ポンプの選定方法と注意点
2026-01-13
水封式真空ポンプの選択は、システムに必要な空気量に基づいて適切なポンプ モデルを決定する必要があります。水封式真空ポンプの性能パラメータは設計と製造プロセスに大きく影響されますが、動作環境と使用要件も実際の性能に大きな影響を与えます。以下では、水封式真空ポンプの選択方法とそのプロセス中に考慮すべき重要な要素を詳しく見ていきます。
水封式真空ポンプ選定表
| モデル | 主な特長 | 絶対真空mmHg | 作動真空レベル mmHg | ポンプ速度範囲 m3/分 | 密封されたフォーム。 |
| S.K. | 国内生産の一段水封式真空ポンプはシンプルな設計とメンテナンスの容易さが特徴です。 現在、中国における低真空水封式真空ポンプの主流となっています。 | -700 | -300～-650 | 0.15～120 | シール、メカニカルシール |
| 2SK | SK水封ポンプ2台直列運転相当の国内設計2段水封真空ポンプ、 単段水封ポンプと比較して、高真空条件下での真空レベルと排気速度が高くなります。 現在中国で主流となっている水封式真空ポンプ。 | -735 | -300～-700 | 1.5～30 | シール、メカニカルシール |
| 2BV | シーメンスのテクノロジー、同軸モーターとポンプの設計、コンパクトな構造、高効率、優れた真空レベル、安定した性能を使用し、 このモデルは、排気速度 0.4 ～ 6 m3/min の SK および 2SK シリーズの水封式真空ポンプを段階的に置き換えます。 | -735 | -300～-700 | 0.45～8.33 | メカニカルシール |
| 2BE1 | シーメンスの技術を使用したこれらのポンプは、高効率、優れた真空レベル、安定した動作を提供します。 また、排気速度が 6 ～ 120 m3/min の SK および 2SK シリーズの水封式真空ポンプを段階的に置き換える予定です。 | -735 -640 | -300～-700 -300～-600 | 5～400 | シール、メカニカルシール |
| サウスカロライナ州 | 低効率と高いエネルギー消費を特徴とする 1950 年代のソ連の技術は、1980 年代初頭までに段階的に廃止されました。 | -640～-700 | -300～-650 | 1.5～27 | 包装 |
| SZB | 主に既存ユーザー向けに使用されます。 | -600 | -300～-550 | 0.33～0.66 | 包装 |
1. プロセス仕様で要求される真空レベル
真空ポンプの動作圧力はプロセス圧力要件を満たさなければなりません。ポンプを選択するときは、その真空レベルが真空装置のレベルを 0.5 桁上回る必要があります。 (例: プロセスで 100 Pa (圧力) の真空レベルが必要な場合、選択した真空ポンプは少なくとも 50 Pa ～ 10 Pa の真空レベルを達成する必要があります)。一般に、必要圧力が3300Paを超える場合には、真空装置として水封式真空ポンプを推奨します。圧力要件が 3300Pa 未満の場合は、水封式真空ポンプを選択しないでください。真空装置としては、ロータリー真空ポンプや、より真空度の高い真空ポンプを選定してください。
II.プロセスに必要なポンプ性能（排気速度）
真空ポンプには一定の排気速度 (つまり、動作圧力で気体、液体、固体を除去する能力) が必要です。これは通常、m3/h、l/s、または m3/min で測定されます。具体的な計算方法は以下の計算式から任意に選択できます。当然のことながら、真空ポンプの選択は複雑なプロセスであり、適切な経験と他の要素の考慮が必要です。
S = (V/t) × ln(P₁/P₂)
場所:
S - 真空ポンプの排気速度 (l/s)
V - 真空チャンバーの容積 (l)
t - 所定の真空レベルに達するのに必要な時間 (秒)
P₁ - 初期圧力 (Pa)
P₂ - 必要な圧力 (Pa)
Ⅲ．除去する物質の組成の決定
1.物質が気体か液体か固体かを判定します。ガス中に水蒸気や粒子状物質、塵埃などの不純物が微量に含まれる場合は、ロータリー真空ポンプを選択する際に注意してください。高真空が必要な場合は、ロータリー真空ポンプを真空発生装置として使用する前に、ろ過装置を設置してガスを浄化してください。
2. 除去される物質が腐食性であるかどうかを判断します (酸性かアルカリ性か? pH 値は何ですか?)。ガスに腐食性の酸、アルカリ、有機化合物が含まれる場合は、ロータリー真空ポンプを選択する前にろ過または中和を行う必要があります。
3.除去される物質はゴムや石油製品を汚染しますか?環境に応じて適切な真空装置を選択してください。ガスに大量の蒸気、粒子状物質、腐食性ガスが含まれている場合は、ポンプ入口ラインにコンデンサやフィルターなどの補助装置を取り付けることを検討してください (詳細については当社の技術エンジニアにご確認ください)。
4.真空ポンプの騒音、振動、外観は工場環境に影響を与えませんか。
5.よく言われるように、支払った金額に見合ったものを手に入れることができます。真空ポンプや装置を購入する際は、装置の品質、輸送コスト、メンテナンスコストなどの要素を優先してください。
水封式真空ポンプを選択する際の考慮事項
水封式真空ポンプを選択する際に考慮すべき要素を検討する前に、まずポンプがどのように機能するかを見てみましょう。
1.液封真空ポンプの作動圧力は、極度の真空および作動圧力に対する真空装置の要件を満たさなければなりません。たとえば、真空コーティングに 1×10-5 mm Hg の真空レベルが必要な場合。条項、選択した真空ポンプは少なくとも 5×10-6 mmHg に達する必要があります。美術。一般に、ポンプの真空能力は、機器の要件を 0.5 桁上回る必要があります。
2. 液封真空ポンプの動作点を正しく選択してください。各ポンプのタイプには特定の動作圧力範囲があります。例えば、拡散ポンプは 10-3 ～ 10-7 mmHg の範囲で動作します。美術。この広い圧力範囲にわたって、ポンプの排気速度は圧力に応じて変化します。安定した作動圧力範囲は 5×10-4 ～ 5×10-6 mm Hg です。美術。したがって、ポンプの動作点はこの範囲内で選択する必要があり、10-8 mmHg 未満の圧力での連続運転は許可されません。美術。同様に、チタン昇華ポンプは 10-2 mmHg の圧力でも動作します。技術的には、その作動圧力は理想的には 1 × 10-5 mm Hg 未満に保つ必要があります。美術。
3. 水封式真空ポンプは、作動圧力において、真空装置の作動中に発生するガスの全量を除去できなければなりません。
4.水封式真空ポンプを正しく組み合わせてください。真空ポンプの選択的特性により、単一のポンプでは排気要件を満たせない場合があります。このような場合、複数のポンプを組み合わせて相互に補完し、ポンプ要件を満たす必要があります。たとえば、チタンサブリメーションポンプは水素の排気速度が速いですが、ヘリウムを排気することはできません。逆に、三極スパッタ イオン ポンプ (または二極非対称スパッタ カソード イオン ポンプ) は特定のアルゴン ポンピング レートを持っています。これら 2 つのタイプを組み合わせることで、真空システムに優れた真空レベルが提供されます。さらに、一部の真空ポンプは大気圧では動作できず、事前真空が必要です。他のものは大気圧以下で排出され、ブースターポンプが必要です。したがって、必ずポンプの組み合わせが必要となります。
5. 真空装置の油汚染に対する要件。完全なオイルフリー動作が必要な場合は、液封ポンプ、モレキュラーシーブ吸着ポンプ、霧化イオンポンプ、または極低温ポンプなどのオイルフリーポンプを選択してください。要件がそれほど厳しくない場合は、コールド トラップ、バッフル、オイル トラップなどの汚れ防止手段を追加したオイル潤滑ポンプを使用して、きれいな真空状態を達成できます。
6.排気ガスの組成を理解する: ガスに凝縮性蒸気、微粒子、粉塵、または腐食性成分が含まれているかどうかを判断します。真空ポンプを選択する場合、除去する特定のガスに適したポンプを選択するには、ガス組成に関する知識が必要です。ガスに蒸気、粒子、腐食性ガスが含まれる場合は、ポンプ入口ラインに凝縮器や集塵器などの補助機器の設置を検討してください。
7.真空ポンプから放出される油蒸気の環境への影響を評価します。汚染が許容できない場合は、オイルフリーの真空ポンプを選択するか、油蒸気を外部に排出してください。
8.真空ポンプの動作振動がプロセスや環境に影響を与えるかどうかを評価します。プロセスが振動を許容しない場合は、振動のないポンプを選択するか、振動を排除するための措置を講じてください。
9.真空ポンプの購入価格と運転費およびメンテナンス費を考慮してください。
上記では、水封式真空ポンプを選択する方法と、そのような装置を選択する際に考慮する必要がある重要な要素について説明しました。可能な限り、確立された基準に従って機器を選択することをお勧めします。これらの真空ポンプは、これらの規格に厳密に従って製造されており、信頼できる品質を保証しています。ご購入後も万全のアフターサービスを保証する専用のアフターサービスをご用意しております。
